Safety
전 포트 Area Sensor
모든 포트에 라이트 커튼을 달았습니다. 동작 중 작업자가 카세트에 손을 대면 즉시 감지해 웨이퍼 정렬 오류와 파손을 원천 차단합니다. 문(Door)보다 공간을 적게 쓰고 개폐 피로도 없습니다.
ZAFS Series
Flatness · Resistivity · P/N · Wafer ID · Sorting
세 모델 모두 같은 측정 원리를 씁니다. 다른 것은 웨이퍼 크기와 포트 구성, 그리고 분류 기능의 유무입니다. ZAFS 4000 은 여기에 8 포트 소터를 얹어 측정과 분류를 한 장비에서 끝냅니다.
Line-up
모델 비교
| 항목 | ZAFS 4000 | ZAFS 3000 | ZAFS 2000 |
|---|---|---|---|
| 대상 웨이퍼 | 300 mm · 200 mm | 300 mm (12″) | 200 mm (8″) |
| 기능 | 측정 + 분류(Sorting) | 측정 | 측정 |
| 포트 | 8 (입력 2 / 출력 6) | 3 | 3 |
| 형상 측정 | Thickness · TTV(GBIR) · Bow · Warp · GFLR | ||
| 전기 특성 | Resistivity · P/N Type | ||
| 식별 | 앞·뒷면 OCR 2 기 (기본) | OCR (선택) | OCR (선택) |
| 직경 측정 | 지원 | ||
| Throughput | 55 sec / wafer | 구성에 따름 | |
| 월 생산 능력 | 5 대 | 10 대 | 10 대 |
ZAFS 4000 · Specification
ZAFS 4000 상세 사양
300 mm Wafer Flatness Measure & Sorting System
| 측정 항목 | Thickness, TTV(GBIR), Bow, Warp, GFLR |
|---|---|
| 측정 방식 | 정전용량(Electrostatic capacity) 상·하 센서쌍 |
| R 방향 | 2 mm pitch |
| θ 방향 | 120 deg (3 line) · 레시피에서 확장 가능 |
| FQA | 294 mm 이하 |
| Thickness 범위 | 600 ~ 900 µm |
| TTV 범위 | < 300 µm |
| Warp 범위 | < 800 µm |
| Bow 범위 | < 800 µm |
| GFLR 범위 | < 800 µm |
| 분해능 | 0.5 µm |
| 반복도 | ± 0.3 µm 실측 σ 0.002 ~ 0.003 µm |
| 비저항 범위 | 1 ~ 1,000 Ω·cm |
|---|---|
| 비저항 분해능 |
100 ~ 999 Ω·cm → 유효숫자 2 자리 10 ~ 99 Ω·cm → 유효숫자 3 자리 1 ~ 9 Ω·cm → 유효숫자 4 자리 |
| 비저항 측정 점 | 웨이퍼당 최대 3 점 (레시피 설정) |
| P/N Type | 1 ~ 1,000 Ω·cm 웨이퍼에 대해 P 또는 N 판정 일부 코팅된 웨이퍼는 탐침이 불가할 수 있습니다. |
| 직경 측정 범위 | 298 ~ 302 mm |
| 직경 분해능 | 100 µm |
| OCR | 앞·뒷면 2 기 (IS1741-11 성능에 한함) |
| 대상 웨이퍼 | Silicon Wafer 300 mm ± 0.2 mm, 두께 0.6 ~ 0.9 mm |
|---|---|
| 카세트 스테이지 | 25 slot · 카세트 감시 센서 · 카세트 바코드 리딩 입력 2 스테이지 / 출력 6 스테이지 |
| 반송 로봇 | 이면 흡착 싱글 암 클린 로봇 핸드 재질 세라믹 · 진공 척 |
| 측정 스테이지 | PEEK, Teflon (회전 스테이지부) |
| 얼라이너 | CCD 센서 방식 · 진공 척 · 흡착 상태로 이동 측정 |
| 스캔 스테이지 | Linear Motor (2 기) |
| 측정 유닛 | Capacitance Sensor + Amp |
| 외형 치수 | 3,250 (W) × 1,900 (D) × 2,400 (H) mm 표시등·LCD 등 돌출물 제외 / 카세트 스테이지 높이 약 900 mm |
| 본체 재질 | 외판 강판(소부 도장) · 기타 SUS, Al(알루마이트) 도장색 White ivory |
| 제어부 | PC · UPS |
| 질량 | 약 1,500 kg |
| 항목 | 사양 |
|---|---|
| 전원 (GPS) | 220 V, 30 A, 1 phase, 60 Hz, 4 kW |
| CDA | 8π hose 1 ea, 600 kPa, 100 LPM |
| 진공 | 8π hose 1 ea, −60 kPa, 50 LPM |
| 통신 | RJ45, 100 Mbps 이상, 1 ea (외부 통신용) |
| 설치 환경 | 클린룸 수준 |
| 작업 공간 | 전면 700 mm · 후면 700 mm · 측면 600 mm 확보 |
| 입력 | 2 port |
|---|---|
| 출력 | 6 port — 양품 Grade 1 : 2 port / 양품 Grade 2 : 2 port / Reject : 2 port |
| 분류 기준 | Thickness, TTV, Bow, Warp, GFLR, 비저항, P/N, 직경, OCR ID |
출하 검수 기준
Auto Running Test 시 100 매 이상의 웨이퍼를 연속 처리하여 장비 문제로 인한 에러가 발생하지 않아야 합니다.
Beyond the spec sheet
사양표에 안 적히지만 현장에서 갈리는 것들
아래는 기존 장비를 쓰던 현장에서 반복해서 나온 불편을 장비 구조로 되받은 항목입니다.
Stability
제진 시스템 + 석정반
외부 진동원과 측정 시스템을 끊습니다. 석정반과 함께 적용해 µm 단위 측정에서 바닥 진동이 값으로 새는 경로를 막습니다.
Cleanliness
상부 커버 optional
외부 먼지 유입을 차단하고 장비 동작 중 외부 영향을 최소화합니다. 기존 장비처럼 카세트부가 개방된 OPEN type 도 제공합니다.
Throughput
Cassette Mapping System
로딩 직후 로봇의 매핑 센서가 슬롯별 웨이퍼 유무를 한 번에 읽습니다. 빈 슬롯은 건너뛰므로, 슬롯마다 팔을 넣어 확인하던 손실이 사라집니다.
Operation
Cassette 실시간 모니터링
포트마다 CASSETTE · PROCESSING · START 표시등을 두어 진행 상황을 장비 앞에서 바로 읽습니다. 진행 중인 카세트를 실수로 내리는 일을 막습니다.
Operation
Dual Monitor · Wafer 돌출 감지
전면 모니터 외에 카세트부에도 모니터를 두어 장비 어느 쪽에서든 상태를 확인합니다. 카세트에서 웨이퍼가 튀어나온 상태도 감지합니다.
Control software
운전 화면
Measure · Set Recipe · Open Data · Maintenance 네 개의 화면으로 운전, 레시피 설정, 결과 조회, 장비 점검을 모두 처리합니다.
