ZILAB ZILAB Co., Ltd.

Company

从机构设计到控制软件,由一个团队完成

ZILAB 是一家研制半导体计量与检测设备的公司。 机构设计、运动控制、测量算法、运行软件不做分包, 全部在一个团队内部完成。 懂测量原理的人来写控制代码, 物理模型与实现之间便不会出现翻译损失。

公司概要
公司名称ZILAB Co., Ltd.
代表理事Jae Hyun Kim
成立日期2021 年 3 月 4 日
业务领域半导体计量与检测设备
Semiconductor Measurement and Inspection Equipment
所在地韩国京畿道华城市东滩循环大路 878
东滩IT大厦 9 层 907 室
主要产品ZAFS 4000 · ZAFS 3000 · ZAFS 2000
网站www.zilab.co.kr
组装完成的 ZAFS 4000 实机 —— 前方 8 个载片盒端口与上方操作显示器
ZAFS 4000 —— 出厂前的组装状态

History

四年之内,8 英寸与 12 英寸设备均已出货

2021 年起步,次年启动 ZAFS 系列开发。 先后推出 8 英寸与 12 英寸测量机, 进而发展为增加了分选功能的 ZAFS 4000。

  • ZILAB 公司成立

  • ZAFS 系列启动开发

  • ZAFS 2000(8 英寸晶圆)出货
    晶圆再生专业企业 · 平坦度测量

  • ZAFS 3000(12 英寸晶圆)出货
    韩国大型晶圆制造商 · 平坦度测量

  • ZAFS 4000 首台出货
    含测量 + 分选功能 · 300 mm

  • ZAFS 4000 第 2 台出货

People

组织不大,资历很深

ZILAB 的人数不多。相应地,每个人负责的范围很广, 而且在这一范围内的资历很长。 拥有 15 ~ 25 年设备开发经验的工程师与工学博士, 分担机构、运动、测量算法与软件。

  • 机构与设备设计 —— 半导体设备设计经验 25 年以上
  • 测量算法与物理建模 —— 工学博士,机器人 · 视觉 · 模式识别专业
  • 控制软件 —— 设备控制软件开发经验 15 年以上
  • 电气与运动控制 —— 含工学博士顾问人员

Founder

代表理事 Jae Hyun Kim

韩国汉阳大学电子工学博士(1998), 专业方向为机器人、视觉与模式识别。

自现代重工业机器人事业部的工业机器人控制起步, 历任显示器与半导体设备企业研究所长,从事检测与计量设备开发。 创立 ZILAB 之后,主导 ZAFS 2000 · 3000 · 4000 的开发, 并亲自负责测量物理的建模与仿真器开发。

「设备的性能不会写在零件规格书上。 把两台用同样传感器却给出不同数值的原因追到底, 那里总会剩下一段尚未被解释的物理。」

Capacity

生产能力

机型适用范围月产能
ZAFS 4000300 mm · 200 mm · 测量 + 分选5 台
ZAFS 3000300 mm(12 英寸)· 测量10 台
ZAFS 2000200 mm(8 英寸)· 测量10 台

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